¼ªÊ±ÀûÊý×ÖÔ´±í2400²âÁ¿µçµ¼Âʵķ½·¨Óë²Ù×÷Ö¸ÄÏ
¼ªÊ±Àû2400Êý×ÖÔ´±í£¨SMU£©×÷Ϊ¸ß¾«¶ÈÔ´²âÁ¿µ¥Ôª£¬¼æ¾ßµçѹԴ¡¢µçÁ÷Ô´¼°¶à¹¦ÄܲâÁ¿ÄÜÁ¦£¬¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚ°ëµ¼Ìå¡¢¸´ºÏ²ÄÁÏ¡¢µç½âÖʵȲÄÁϵĵ絼ÂʲâÊÔ¡£±¾ÎĽ«ÏµÍ³½éÉÜÆä²âÁ¿µçµ¼Âʵķ½·¨¡¢²Ù×÷²½Öè¼°¹Ø¼ü×¢ÒâÊÂÏ°ïÖúÓû§¸ßЧ»ñȡ׼ȷÊý¾Ý¡£
Ò»¡¢²âÁ¿ÔÀíÓëµç¼«ÅäÖÃ
µçµ¼ÂÊ£¨¦Ò£©±íÕ÷²ÄÁϵ¼µçÄÜÁ¦£¬¼ÆË㹫ʽΪ ¦Ò = (1/R) ¡Á (L/A)£¬ÆäÖÐ R Ϊµç×裬L Ϊµç¼«¼ä¾à£¬A Ϊµç¼«Ãæ»ý¡£¼ªÊ±Àû2400ͨ¹ýÊ©¼Óºã¶¨µçÁ÷²¢²âÁ¿µçѹ½µ£¬½áºÏµç¼«¼¸ºÎ²ÎÊý¼ÆËãµçµ¼ÂÊ¡£Îª½µµÍ½Ó´¥µç×èÓ뼫»¯Ð§Ó¦£¬ÍƼö²ÉÓà ËÄ̽Õë·¨£º
1. µç¼«²¼¾Ö£ºËÄ̽Õ루Á½¶Ôµç¼«£©¼ä¸ôÅÅÁУ¬Íâ²àÁ½Ì½ÕëÊ©¼ÓµçÁ÷£¬ÄÚ²àÁ½Ì½Õë²âÁ¿µçѹ£¬±ÜÃâµçÁ÷·¾¶Óëµçѹ²âÁ¿Â·¾¶Öصþ¡£
2. ÓÅÊÆ£ºÏû³ýÒýÏßµç×èÓë½Ó´¥µç×èÓ°Ï죬ÊÊÓÃÓÚµÍÖÁ10?? S/cmµÄ¿í·¶Î§µçµ¼ÂʲâÁ¿¡£
¶þ¡¢²âÁ¿²Ù×÷²½Öè
1. Ó²¼þÁ¬½Ó
¸ù¾ÝÑùÆ·ÐÎ̬ѡÔñµç¼«£º±¡Ä¤ÑùƷʹÓõ¯»É̽Õë»òÕæ¿ÕÎüÅ̼оߣ»¿éÌåÑùÆ·³Á»ýµ¼µçÒø½º»ò½ðµç¼«£¨½Ó´¥µç×è<1 m¦¸£©¡£
½«ËÄ̽ÕëÁ¬½ÓÖÁÒÇÆ÷¶ÔÓ¦¶Ë¿Ú£¨µçÁ÷Êä³ö¶Ë¿ÚI+¡¢I-£¬µçѹ²âÁ¿¶Ë¿ÚV+¡¢V-£©¡£
2. ²ÎÊýÅäÖÃ
¿ª»úÔ¤ÈÈ30·ÖÖÓ£¬È·±£Î¶ÈÎȶ¨¡£
½øÈë¡°Sensing¡±²Ëµ¥£¬Ñ¡Ôñ¡°Resistance¡±£¨»ò¡°Conductance¡±£©Ä£Ê½¡£
É趨µçÁ÷·¶Î§£º¸ù¾ÝÑùÆ·µçµ¼ÂÊÔ¤¹ÀֵѡÔñ£¨ÀýÈç10?? A/cm?ÖÁ10 A/cm?£©£¬ÆôÓÃ×Ô¶¯Á¿³Ì£¨AUTO-RANGE£©ÓÅ»¯·Ö±æÂÊ¡£
ÉèÖÃóéλֵ£¨Compliance£©£ºÈôÊä³öµçÁ÷£¬É趨µçѹóéλÒÔ·ÀÑùÆ·»÷´©£»·´Ö®É趨µçÁ÷óéλ±£»¤ÒÇÆ÷¡£
3. У׼Óë²¹³¥
ʹÓñê×¼µç×èУ׼ϵͳ£¬Ïû³ýÒÇÆ÷¹ÌÓÐÎó²î¡£
ÆôÓÃËÄÏßÖÆ²âÁ¿£¨4-wire Kelvin£©£¬Í¨¹ý¡°OFFSET¡±¹¦Äܲ¹³¥ÒýÏßµç×è¡£
4. Êý¾Ý²É¼¯
Æô¶¯¡°Sweep¡±¹¦ÄܽøÐж¯Ì¬É¨Ã裺É趨µçÁ÷/µçѹɨÃ跶Χ£¨ÏßÐÔ»ò¶ÔÊýģʽ£©¡¢²ÉÑùµãÊý£¨½¨Òé¡Ý500µã£©¼°ÑÓ³Ùʱ¼ä¡£
ʵʱ¼à²âµçµ¼ÂÊ-ζÈ/Ó¦Á¦ÇúÏߣ¬²¶×½²ÄÁÏ·ÇÏßÐÔÏìÓ¦¡£
Èý¡¢¹Ø¼ü×¢ÒâÊÂÏî
1. ζȿØÖÆ£ºµçµ¼ÂʶÔζÈÃô¸Ð£¨ÀýÈç°ëµ¼Ìå²ÄÁÏζÈϵÊý´ï10%/K£©£¬ÐèÅäºÏÒºµªÀą̈»ò¼ÓÈĘ̀£¬Í¬²½¼Ç¼Î¶ÈÊý¾Ý¡£
2. ʪ¶ÈÓ°Ï죺¶ÔÓÚÀë×Óµ¼µç²ÄÁÏ£¨Èç¹Ì̬µç½âÖÊ£©£¬±ØÐëÔÚÊÖÌ×Ïä»òµÍʪ¶È»·¾³£¨<1% RH£©ÖвâÊÔ£¬±ÜÃâË®·ÖÎü¸½¸ÉÈÅ¡£
3. ·ÇÏßÐÔÐÞÕý£ºÕë¶Ô°ëµ¼Ìå»ò¸´ºÏ²ÄÁÏ£¬²ÉÓÃI-VÇúÏß·ÇÏßÐÔÄâºÏ£¨ÈçÃÝÂÉÄ£ÐÍ¦Ò = aI?£©£¬±ÜÃâÅ·Ä·¶¨Âɼò»¯´øÀ´µÄÎó²î¡£
ËÄ¡¢Êý¾Ý´¦ÀíÓë×Ô¶¯»¯À©Õ¹
1. ʵʱ·ÖÎö£ºÀûÓÃÒÇÆ÷ÄÚÖûæÍ¼¹¦ÄÜ£¬¼´Ê±¹Û²ìµçµ¼ÂÊËæ²ÎÊý±ä»¯µÄ¶¯Ì¬ÏìÓ¦¡£
2. Python×Ô¶¯»¯£ºÍ¨¹ýGPIB»òLAN½Ó¿Ú£¬½áºÏLabVIEW»ò×Ô¶¨Òå½Å±¾ÊµÏÖÅúÁ¿²âÊÔÓëÊý¾Ý´æ´¢£¨ÀýÈçÿµãʱ¼ä±ê¼ÇµÄCSVÎļþ£©¡£
3. ×迹Æ×·ÖÎö£º¶ÔÓÚµç½âÖʲÄÁÏ£¬¿ÉÁªÓÃ2400µÄEIS¹¦ÄÜ£¨10 mHzÖÁ1 MHz£©£¬½âÎöÀë×Ó´«Êä»úÖÆ¡£
Îå¡¢µäÐÍÓ¦Óó¡¾°
°ëµ¼Ìå²ÄÁϱíÕ÷£ºÍ¬²½»ñÈ¡ÔØÁ÷×ÓÀàÐÍ¡¢Ç¨ÒÆÂʼ°µçµ¼ÂÊ£¨ÀýÈçSiC¡¢GaNÆ÷¼þÉè¼Æ£©¡£
ÈáÐÔµç×Ó²âÊÔ£ºÆÀ¹Àµ¼µç¾ÛºÏÎ︴ºÏ²ÄÁÏÔÚ²»Í¬ÍäÇúÓ¦Á¦Ïµĵ絼ÂÊÎȶ¨ÐÔ¡£
µç³ØÑз¢£ºÁ¿»¯¹Ì̬µç½âÖÊÀë×ӵ絼ÂÊ£¨¦Ò = 1/Z ¡Á L/A£©£¬Ö¸µ¼²ÄÁÏÓÅ»¯¡£
ͨ¹ý¹æ·¶²Ù×÷Óë²ÎÊýÓÅ»¯£¬¼ªÊ±Àû2400Êý×ÖÔ´±í¿ÉʵÏÖ´Ó΢Î÷ÃÅ×Óµ½Ç§Î÷ÃÅ×ÓÁ¿¼¶µÄ¾«×¼µçµ¼ÂʲâÁ¿£¬Îª²ÄÁÏÑз¢ÓëÆ÷¼þÐÔÄÜÆÀ¹ÀÌṩ¿É¿¿Êý¾ÝÖ§³Å¡£